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【廣東,深圳市】深圳大學(xué)ICP-RIE等離子刻蝕機(jī)意向公開(kāi)

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發(fā)布時(shí)間： 2024-09-25

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招標(biāo)預(yù)告詳情

***ICP-RIE等離子刻蝕機(jī)意向公開(kāi) 采購(gòu)單位: *** 項(xiàng)目名稱(chēng): ICP-RIE等離子刻蝕機(jī) 預(yù)算金額***4,020,000.000 采購(gòu)品目: 壓片加工設(shè)備采購(gòu)需求概況: ICP-RIE等離子刻蝕設(shè)備利用感應(yīng)耦合產(chǎn)生高密度等離子體，實(shí)現(xiàn)硅、介質(zhì)、石英等材料的干法刻蝕，并能在常溫下完成Bosch工藝，實(shí)現(xiàn)深硅刻蝕，具備激光終點(diǎn)監(jiān)測(cè)功能。高耦合效率和低離子能量，減少材料損傷，結(jié)合動(dòng)態(tài)溫度與氣體流量控制，實(shí)現(xiàn)高精度刻蝕。Bosch工藝用于精細(xì)刻蝕三維結(jié)構(gòu)，達(dá)到高深寬比、高選擇性和垂直度。激光終點(diǎn)監(jiān)測(cè)功能確?？涛g精度，滿(mǎn)足多層結(jié)構(gòu)加工中對(duì)每層刻蝕深度、形狀和位置***。聯(lián)系人: 陳老師聯(lián)系電話(huà): ***520 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間: 2024-10 備注: 無(wú)

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