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各供應商：

??東華大學采購與招投標管理中心受用戶委托，以校內(nèi)密封比價***行東華大學小型臺式無掩膜光刻機項目采購。

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?一、項目內(nèi)容：

1.項目名稱:小型臺式無掩膜光刻機

2.品牌：TUOTUO

3.型號：PL-3D litho S

4.項目數(shù)量:?1 （臺）

5.項目總預算:?470,000.00(報價***pan lang="EN-US">,報價***價***n lang="EN-US">)

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二、項目總體要求：

?1、項目總體技術要求

1.1光刻精度：

至少支持三個光刻鏡頭：光刻鏡頭1：精度≤10 μm，?DOF≥ 600 μm；光刻鏡頭2： 精度≤5 μm ，DOF≥ 125 μm；光刻鏡頭3：精度≤2 μm，?DOF≥18 μm；

1.2曝光波長：385 nm；

1.3光刻速度：

a)? 光刻鏡頭1：≥950 mm2/min；

b)? 光刻鏡頭2：≥230 mm2/min；

c)? 光刻鏡頭3：≥25 mm2/min；

1.4主動對焦功能；

1.5最大膠厚：≥350 μm；

1.6顯微觀測：支持顯微觀測且不會引起光刻膠變性；

1.7樣品厚度：≥10 mm；

1.8樣品尺寸：≥100 mm * 100 mm；

1.9設備軟件：支持陣列光刻、尺寸測量、進度顯示；

1.10畫圖軟件：支持陣列畫圖、套刻畫圖；

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?2、交貨安裝地點：

安裝至松***區(qū)復合材料協(xié)同創(chuàng)***樓4樓B409-B411室客戶指定地點（東華大學校園內(nèi)）

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?3、交貨期

??合同簽訂生效后50天

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?4、設備安裝調(diào)試及驗收

設備到貨后，由供應商到現(xiàn)場對設備進行開箱、清點并安裝調(diào)試。

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??5、售后服務

??? 設備質(zhì)保期從設備驗收合格后采購人簽字認可之日起計算，質(zhì)保期為1年，報價***售后服務。

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?6.付款方式：

?? ?合同簽訂后，預付50%貨款，貨到驗收合格后憑全額發(fā)票付清尾款。

***

三、報價***間：

2023年10月28日（星期六）上午7：00，為最終報價***報價***單位***，密封處加蓋單位***，未按時送達視為自動放棄。

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四、送達或郵寄地址：

??? ***市***區(qū)人***路2999號***樓123房間?

????? ?徐忠文收??***121，

?? ?只收順豐快遞。(請勿以閃送、同城急送等的方式交付文件，快遞外包裝上請標注報價***span lang="EN-US">)

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五、本次采購的相關要求：

受邀服務商在報價***供相關資格證明材料和無不良信用記錄的相關證明（相應網(wǎng)頁截圖）。

相關資格證明材料指：營業(yè)執(zhí)照、組織機構(gòu)***、稅務登記證（三證合一的服務商僅需提供“企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照副本”）復印件、法人代表授權(quán)委托書復印件、被授權(quán)人身份證復印件、以及具有與本項目相適應的經(jīng)營范圍。

不良信用記錄指：服務商在“信用中國”網(wǎng)站（www***）被列入失信被執(zhí)行人、重大稅收違法案件當事人名單或在中國政府采購網(wǎng)（www***）被列入政府采購嚴重違法失信行為記錄名單。

以上資料均需加蓋公章，提供不全者將可能導致其報價***/span>

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?如對本項目內(nèi)容有任何問題，可咨詢：

????? 材料科學與工程學院

?????? ?孫老師，電話：***929

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?本次報價***：***????電話：***

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*** *********? ? ? 2023年10月24日

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